BA＆EP级管材经过化学清洗和钝化处理，以确保不挥发残留物含量符合ASTM G93或SEMI E 49.6。用18MΩ的去离子水冲洗UHP管道，并用99.9995％过滤的氮气吹扫，并包装在10级洁净室中。
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